聚焦离子束显微镜技术在锂离子电池领域的研究进展

杨妮, 苏岳锋, 王联, 李宁, 马亮, 朱晨

Research progress of focused ion beam microscopy in lithium-ion batteries

Ni YANG, Yuefeng SU, Lian WANG, Ning LI, Liang MA, Chen ZHU

图1 (a) 液态金属离子源构造[6]；(b) 典型FIB-SEM双束设备

Fig. 1 (a) Sketch of a LMIS[6]; (b) Sketch of a FIB-SEM column